웨이퍼광학 검사장치용 포러스척(Porous Vacuum Chuck for Wafer Optical Inspection Equi…

작성자 관리자 조회 12 작성일 25-07-05 12:03

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한백정밀은 반도체 제조공정 중 웨이퍼 광학 검사장비에 적용되는 ' 포러스진공척' 에 대한 독자적인 기술력을 바탕으로 해당기술을 특허 출원 및 정식 등록하였습니다.


이번 특허등록은 고정밀 세라믹 가공 및 진공흡착 기술을 기반으로, 광학 검사 시 웨이퍼의 평탄도 유지와 미세손상방지를 실현하는 핵심부품기술로 인정받은 결과입니다.


앞으로도 한백정밀은 정밀가공 및 진공기술의 국산화와 고도화를 통해 글로벌 반도체 산업의 경쟁력 강화를 선도하겠습니다.


감사합니다.