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半导体零件 Electrostatic chuck

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屏静电Electrostatic Chuck)是主要用于制造工设备,利用电场固定物体

1. 屏静电的原理和结构

  • 原理静电两个电极施加电压产静电该静电在卡表面和晶间产静电力,牢固地固定晶
  • 结构
    • 电极:通常由金导电材料制成,嵌入卡盘内部。
    • 绝缘层:保护电极并提供电气绝缘
    • 表面涂:直接接的部分,设计用于化摩擦力和静电产生。

2. 静电

  • 库仑静电:利用基本的静电力固定晶结构简单,制造成本低,但需要高电压
  • -拉哈静电:不使用电场面的特殊涂增加粘附力。在低电压下也能提供高持力,更加定。

静电在需要高精度的先制造工中起着关键作用。通准确固定和定位晶,大大提高了制造工的效率和

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