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반도체 부품 디스플레이 정전척 Display Electrostatic Chuck

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디스플레이 정전척(Electrostatic Chuck)은 주로 디스플레이 제조 공정에서 사용되는 장비로 전기장을 이용하여 물체를 고정시키는 원리를 사용합니다.


1. 디스플레이 정전척 원리 및 구조


-원리: 정전척 Electrostatic Chuck 은 두개의 전극 사이에 전압을 걸어 정전기를 발생시킵니다. 이 정전기는 척 표면과 웨이퍼 사이에 정전력을 발생시켜 웨이퍼를 단단히 고정합니다. 

-구조:전극~보통 금속이나 도전성 물질로 만들어져 있으며 척의 내부에 내장됩니다.

       절연층~전극을 보호하고 전기적 절연을 제공하는 역할을 합니다.

       표면코팅~웨이퍼와 직접 접촉하는 부분으로 마찰력과 정전기 발생을 최적화 하도록 설계됩니다.


2. 정전척 Electrostatic Chuck 의 종류


-쿨롱형 정전척: 기본적인 정전력만을 이용해 웨이퍼를 고정하며 구조가 단순하고 제작 비용이 낮으나 높은 전압이 필요합니다.

-존슨-라하나 정전척: 전기장 뿐만 아니라 접촉면의 특수한 코팅을 통해 접촉력을 증가 시킵니다. 낮은 전압에서도 높은 고정력을 발휘할 수 있으며 더 안정적입니다.


정전척은 고도의 정밀도가 요구되는 첨단 제조공정에서 중요한 역할을 담당하며, 웨이퍼의 고정과 위치 제어를 통해 제조 공정의 효율성과 품질을 크게 향상 시킵니다.