半导体零件 半导体静电夹具
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静电夹具是半导体制造过程中用于固定晶圆或其他半导体基板的重要工具。该夹具利用静电力将晶圆固定在夹具表面，无需机械接触，从而减少了损坏晶圆的风险。静电夹具的主要特点和用途包括：
使用静电力：静电夹具通过电场来固定晶圆。这是通过在表面放置电极并施加电压来实现的，从而产生静电力。
无接触固定：由于不需要机械压力或夹紧，因此大大减少了损坏晶圆的表面或边缘的风险。这在处理薄或脆弱的晶圆时尤其有益。
精度和可重复性：静电夹具提供非常精确的位置调整和高重复性，这在需要极端精确的半导体工艺中非常重要。
维持清洁：由于没有物理接触，可防止夹具和晶圆之间的污染或异物，保持清洁。
热管理：一些静电夹具配备了热管理功能，允许在加热或冷却晶圆时安全地固定晶圆。
静电夹具在光学检查、光刻、蚀刻和薄膜沉积等多种半导体制造过程中使用。其精确和无接触的特性使其成为半导体行业中不可或缺的工具。