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半导体零件 Porous chuck

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在半体制造工中,用于固定晶的另一装置是多孔夹盘Porous Chuck)。

多孔夹盘利用空原理固定晶,主要用于晶平坦度和位置固定至重要的工中。

1. 原理和结构

·         原理:多孔夹盘具有多孔结构,通过这些孔形成空,而固定晶。在状态下,晶圆与夹盘间产力差,使晶圆紧贴夹盘表面。

·         多孔结构夹盘的表面由小的孔成,可以形成空。

·         空通道夹盘内部有生成和分配空的通道。

·         表面涂:表面有特殊涂,以的摩擦力防止损伤

2. 主要

·         光刻:保持晶平坦准确固定位置非常重要。使用多孔夹盘可以防止晶的微小移,提高案的精确度。

·         和沉:晶表面需要均匀处理。利用空的多孔夹盘可以最小化晶圆变形,实现

·         平坦化:用于使晶表面平坦的工中。多孔夹盘稳定地固定晶,最大化平坦化工的效果。

3. 多孔夹盘

·         的固定力:利用空提供整的固定力。可以最小化晶形,提高工的一致性。

·         防止损伤少晶圆与夹盘的直接接少晶圆损伤。特适用于薄且敏感的晶

多孔夹盘是半体制造工实现精确固定的重要装置,尤其在高精度工理敏感晶方面具有优势

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