특허증 제 10-1387916 호 히터겸용 정전척 본문 . 목록 이전 특허증 제10-2826757호 웨이퍼 광학 검사장치용 포러스 진공척 25.10.13 다음 특허증 제 10-2735733 호 반도체 공정용 웨이퍼 척 제조방법 24.12.12 댓글목록 등록된 댓글이 없습니다.