웨이퍼 진공척은 반도체 제조 과정에서 웨이퍼를 고정하고 정밀하게 조작하기 위한 장치입니다. 이 장치는 진공을 이용해 웨이퍼를 척(Chuck)의 표면에 고정시키는 역할을 합니다. 웨이퍼 진공척은 주로 고정밀도와 높은 정밀 위치 결정이 필요한 반도체 공정에 사용됩니다. 다음은 웨이퍼 진공척의 주요 특징들입니다:

1. 진공 흡착: 웨이퍼 진공척은 진공을 사용하여 웨이퍼를 표면에 단단히 고정시키며, 이는 반도체 웨이퍼가 공정 동안 움직이지 않도록 합니다.

2. 정밀도: 이 장치는 매우 높은 정밀도로 웨이퍼의 위치를 조정할 수 있어, 미세한 회로 패턴을 새길 수 있습니다.

3. 다양한 사이즈 지원: 다양한 크기의 웨이퍼를 처리할 수 있도록 여러 크기와 형태로 제작됩니다.

4. 내구성 및 신뢰성: 고온, 화학 물질, 기계적 스트레스에 견딜 수 있도록 강화된 재료로 제작되어 반도체 제조 공정의 까다로운 환경에서도 사용할 수 있습니다.

5. 청결 유지: 진공 척은 반도체 제조 과정에서 발생할 수 있는 오염을 최소화하도록 설계되어 있습니다.

이러한 웨이퍼 진공척은 반도체 공정의 핵심적인 부분을 담당하며, 고정밀 작업이 요구되는 다양한 공정에서 중요한 역할을 합니다.