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반도체 부품 Lam Liner

램 라이너는 반도체 에칭공정에 사용되는 챔버 내부의 보호막 역할을 하는 부품입니다.

이 부품은 다음과 같은 역할을 수행합니다.

챔버보호: 에칭공정 중에 발생하는 플라즈마, 화학물질, 또는 고온으로부터 반응 챔버내부를 보호합니다. 챔버가 손상되거나 오염되는 것을 방지하여 장비의 수명을 연장하는데 중요한 역할을 합니다.

균일한 공정유지: 램 라이너는 반응 챔버내부에서의 공정조건을 균일하게 유지하도록 도와줍니다. 이는 반도체 웨이퍼의 품질과 일관성을 보장하는데 필수적입니다.

오염방지: 에칭 공정에서 발생하는 잔여물이나 입자들이 반응 챔버 내주에 쌓이는 것을 방지하여, 공정 중 웨이퍼의 오염을 줄여줍니다.

한백정밀의 제품 특징

한백정밀은 정밀가공 기술을 활용하여 반도체 공정의 요구 사항을 충족하기 위해 고내구성, 내화학성, 내열성을 갖춘 고품질의 램 라이너를 생산합니다.